普通的旋片真空泵有單雙級之分,一般單級的工作真空(非極限真空)介于大氣壓到50Pa之間,而雙級的工作真空(非極限真空)一般在大氣壓到5Pa之間,而雙級旋片真空泵的運作可以簡單地理解為將兩個單級泵串聯起來:
雙級旋片真空泵由兩個工作室組成,兩室前后串聯,同向等速旋轉;一般流程中被抽氣體由進氣口進入高真空級,經過高真空級壓縮后再經通道進入到低真空級再度進行壓縮;但在抽氣剛開始時,一般情況下真空室的壓力本身較高,被抽氣體經過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達到排氣壓力,此時壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分,另外一部分繼續進入低真空級進行壓縮排放;抽到一定程度后,進氣壓力變小,這時經過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力,這時輔助排氣閥就會關閉,氣體會全部經通道進入低真空級壓縮后排出。
另外,關于輔助排氣閥這個設置,也不是所有的雙級旋片真空泵都會有。一些小型的可能將高低真空腔做成等腔結構,這個時候就不需要輔助排氣閥。
雙極旋片式真空泵的注意事項
1.可在環境溫度5~40℃,入口壓力小于1330Pa的條件下長時間連續運行。
2.如果安裝了氣鎮裝置,可以去除一定量的可冷凝氣體,但不適合去除氧氣。氧氣太高,有毒,易爆,對金屬有腐蝕性,化學品不適合泵油。反應和含有顆粒粉塵的氣體不能用作輸送泵。
3.大氣壓入口壓力至6000Pa的連續工作時間不得超過3分鐘,以免因燃油噴射或潤滑不良而損壞泵。
4.油位應位于油印機的中心位置。如果油位過高,則會導致油液充滿。如果油位低,則會導致潤滑不良。油位由泵操作。泵運行時一般更換真空泵油。有利于更換,泵腔中的雜質將盡可能地排出。